在工業自動化與精密制造領域，位移傳感器的測量精度直接決定產品質量。當前頂尖的高精度位移傳感器已突破納米級分辨率，如激光干涉儀可實現0.1nm的重復定位精度，而電容式傳感器在亞微米級測量中誤差不超過±0.02%。

激光傳感器的精度優勢主要依賴波長穩定性，采用氦氖激光源時，其632.8nm波長可作為天然標尺。但環境溫度每變化1℃，就會引入2ppm的誤差，因此超精密實驗室需維持±0.1℃恒溫。

電容式傳感器通過極板間距變化檢測位移，在10μm量程內可達0.01%線性度。其采用差分結構可抵消溫度漂移，但測量介質的介電常數變化會顯著影響結果，需配合實時補償算法。

工業現場應用中，激光三角法傳感器兼顧性價比與精度，典型產品如基恩士LK-H系列，在30mm量程內重復精度達0.3μm。汽車發動機缸體檢測就依賴此類設備，單個測量周期僅需2ms。

未來量子光學傳感器的出現可能突破現有極限，德國PTB研究所已實現基于里德堡原子的0.01nm分辨率實驗。但商業化仍需解決真空環境維持和量子態穩定性等關鍵技術瓶頸。